Sensofar S neox 3D光学轮廓仪以干涉技术为核心，搭载50倍物镜，可在2秒内完成目标区域高速扫描，以纳米级纵向分辨率精准捕获印记深度信息。借助SensoPRO分析插件，系统能够自动执行批量数据处理，统计输出最大深度、平均深度等关键指标。整个测量流程采用非接触光学方式，避免对样品造成任何机械损伤，在完整量化压痕损伤程度的同时，为探针压力工艺参数的优化调整提供可信赖的数据支撑。