应用分享|Sensofar 3D光学轮廓仪在ePSI技术融合测量上的应用
2026/08/17 15:17
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应用领域
半导体
检测样品
晶圆测试
检测项目
无
参考标准
/
方案详情
在半导体、精密光学等高端制造领域，表面测量常面临"精度"与"范围"的两难——白光干涉（CSI）能扫数百微米却难及纳米级精度，相移干涉（PSI）达亚纳米精度却量程受限。而Sensofar的ePSI技术，用创新融合破解了这一难题。
产品配置单
分析仪器
Sensofar3D光学轮廓仪Sneox090
S-neox
Sensofar
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