视芯光学推出T100型国产3D光学轮廓仪,该设备基于光学干涉原理,具备非接触式三维形貌测量能力,覆盖微米至纳米尺度分析需求。作为精密制造与科学研究中的质量控制工具,其支持自动对焦、多区域拼接及批量测量,可输出粗糙度、台阶高度等关键参数,旨在为半导体、精密加工及材料科研领域提供稳定可靠的国产测量方案。
3D光学轮廓仪借助非接触式光学扫描,可快速获取样品表面的三维形貌信息,涵盖高度、宽度、角度、体积等多项关键参数。视芯光学T100采用光学干涉原理,结合稳固的机械结构与环境适应性设计,以获取重复性良好的测量数据。
在技术集成方面,T100融合了自动化控制与智能分析软件。用户可通过直观的软件界面完成自动对焦、多区域拼接及批量测量等操作。软件能够对采集的三维点云数据进行处理,输出清晰的三维形貌图与二维轮廓曲线,并计算粗糙度、台阶高度、几何尺寸等多种参数,覆盖从微米到纳米尺度的分析需求。
该设备的应用领域较为广泛。在半导体行业,可用于芯片、晶圆表面及MEMS器件结构的形貌与尺寸测量;在精密加工领域,可评估工件表面纹理、磨损状况或涂层厚度;在材料科学研究中,可用于分析薄膜表面、复合材料界面及生物材料结构等。对于高校与科研院所而言,它也是开展微观形貌观察与定量分析的常用工具。
视芯光学T100的研发与生产,反映了国内精密仪器领域的持续进步。该产品面向寻求稳定可靠国产仪器的用户,通过工艺改进与技术迭代,在工业现场和实验室中发挥作用。用户可根据测量范围、分辨率、重复性及样品适应性等具体需求进行选择。